Description

Моделирование кинетических и потенциальных эффектов налетающего иона на микроструктуру тонкой пленки.

Key findings for the project

Проект поспособствовал началу кооперации между группой низкотемпературной плазмы из СПбГУ и группой инженерии плазмы из IOM Leipzig. Были изучены различные методы для описания взаимодействия иона с поверхностью, и выбраны целесообразные подходы. На основании этих подходов был прототипирован алгоритм расчета, включающий в себя две независимых модели: движения иона навстречу поверхности с учетом основных механизмов обмена энергией между ними, и моделирования диссипации энергии в поверхности с учетом оценок из первой модели.
AcronymGRISC_2019
StatusFinished
Effective start/end date1/10/1930/11/19

ID: 49890624