Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review
Final published version, 1.69 MB, PDF document
| Original language | English |
|---|---|
| Pages | 203 |
| Number of pages | 1 |
| State | Published - 2025 |
| Event | Черноголовская конференция по электронной микроскопии: КЭМ-25 - Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук , Черноголовка, Russian Federation Duration: 16 Jun 2025 → 19 Jun 2025 https://cem25.iptm.ru/ |
| Conference | Черноголовская конференция по электронной микроскопии |
|---|---|
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Черноголовка |
| Period | 16/06/25 → 19/06/25 |
| Internet address |
ID: 137469611