Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Formation of Diamond-Like Carbon Films by the Plasma-Chemical Decomposition of Hydrocarbons. / Поволоцкий, Алексей Валерьевич; Смирнов, Егор Вячеславович; Тверьянович, Юрий Станиславович.
In: Glass Physics and Chemistry, Vol. 50, No. 3, 2024, p. 222–226.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Formation of Diamond-Like Carbon Films by the Plasma-Chemical Decomposition of Hydrocarbons.
AU - Поволоцкий, Алексей Валерьевич
AU - Смирнов, Егор Вячеславович
AU - Тверьянович, Юрий Станиславович
PY - 2024
Y1 - 2024
U2 - 10.1134/S1087659624600728
DO - 10.1134/S1087659624600728
M3 - Article
VL - 50
SP - 222
EP - 226
JO - Glass Physics and Chemistry
JF - Glass Physics and Chemistry
SN - 1087-6596
IS - 3
ER -
ID: 127219706