Standard

Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств. / Кудряшов, Д.А.; Гудовских, А.С.; Бабичев, А.В.; Филимонов, А.В.; Можаров, А.М.; Агекян, В.Ф.; Борисов, Е.В.; Серов, А.Ю.; Философов, Н.Г.

In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 51, No. 1, 2017, p. 111-115.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Кудряшов, ДА, Гудовских, АС, Бабичев, АВ, Филимонов, АВ, Можаров, АМ, Агекян, ВФ, Борисов, ЕВ, Серов, АЮ & Философов, НГ 2017, 'Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств', ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, vol. 51, no. 1, pp. 111-115. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.01.44005.8318

APA

Кудряшов, Д. А., Гудовских, А. С., Бабичев, А. В., Филимонов, А. В., Можаров, А. М., Агекян, В. Ф., Борисов, Е. В., Серов, А. Ю., & Философов, Н. Г. (2017). Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, 51(1), 111-115. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.01.44005.8318

Vancouver

Кудряшов ДА, Гудовских АС, Бабичев АВ, Филимонов АВ, Можаров АМ, Агекян ВФ et al. Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2017;51(1):111-115. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.01.44005.8318

Author

Кудряшов, Д.А. ; Гудовских, А.С. ; Бабичев, А.В. ; Филимонов, А.В. ; Можаров, А.М. ; Агекян, В.Ф. ; Борисов, Е.В. ; Серов, А.Ю. ; Философов, Н.Г. / Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств. In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2017 ; Vol. 51, No. 1. pp. 111-115.

BibTeX

@article{e4cebcfb82dd4991a86c96948c7c4cc8,
title = "Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств",
abstract = "Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu2O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu2O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu2O.",
author = "Д.А. Кудряшов and А.С. Гудовских and А.В. Бабичев and А.В. Филимонов and А.М. Можаров and В.Ф. Агекян and Е.В. Борисов and А.Ю. Серов and Н.Г. Философов",
year = "2017",
doi = "10.21883/FTP.2017.01.44005.8318",
language = "русский",
volume = "51",
pages = "111--115",
journal = "ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ",
issn = "0015-3222",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "1",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств

AU - Кудряшов, Д.А.

AU - Гудовских, А.С.

AU - Бабичев, А.В.

AU - Филимонов, А.В.

AU - Можаров, А.М.

AU - Агекян, В.Ф.

AU - Борисов, Е.В.

AU - Серов, А.Ю.

AU - Философов, Н.Г.

PY - 2017

Y1 - 2017

N2 - Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu2O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu2O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu2O.

AB - Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu2O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu2O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu2O.

U2 - 10.21883/FTP.2017.01.44005.8318

DO - 10.21883/FTP.2017.01.44005.8318

M3 - статья

VL - 51

SP - 111

EP - 115

JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

SN - 0015-3222

IS - 1

ER -

ID: 7736157