Standard

Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be. / Гайсин, Айдар Уралович; Сахоненков, Сергей Сергеевич; Касатиков, Сергей Алексеевич; Конашук, Алексей Сергеевич; Плешков, Роман Сергеевич; Чхало, Николай Иванович; Филатова, Елена Олеговна.

2021. 381-382 Paper presented at Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Paper › peer-review

Harvard

Гайсин, АУ, Сахоненков, СС, Касатиков, СА, Конашук, АС, Плешков, РС, Чхало, НИ & Филатова, ЕО 2021, 'Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be', Paper presented at Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, Russian Federation, 9/03/21 - 12/03/21 pp. 381-382.

APA

Гайсин, А. У., Сахоненков, С. С., Касатиков, С. А., Конашук, А. С., Плешков, Р. С., Чхало, Н. И., & Филатова, Е. О. (2021). Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be. 381-382. Paper presented at Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, Russian Federation.

Vancouver

Гайсин АУ, Сахоненков СС, Касатиков СА, Конашук АС, Плешков РС, Чхало НИ et al. Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be. 2021. Paper presented at Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, Russian Federation.

Author

Гайсин, Айдар Уралович ; Сахоненков, Сергей Сергеевич ; Касатиков, Сергей Алексеевич ; Конашук, Алексей Сергеевич ; Плешков, Роман Сергеевич ; Чхало, Николай Иванович ; Филатова, Елена Олеговна. / Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be. Paper presented at Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, Russian Federation.2 p.

BibTeX

@conference{315b16e43c494db0ae17febe27040645,
title = "Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be",
abstract = "Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии анализируется формирование промежуточных соединений, образующихся в результате введения барьерных слоев на межфазовых границах в многослойных структурах Mo/Si и Mo/Be. Установлено, что функциональность диффузионного барьера определяется стабильностью соединений, образующихся в результатеего введения.",
author = "Гайсин, {Айдар Уралович} and Сахоненков, {Сергей Сергеевич} and Касатиков, {Сергей Алексеевич} and Конашук, {Алексей Сергеевич} and Плешков, {Роман Сергеевич} and Чхало, {Николай Иванович} and Филатова, {Елена Олеговна}",
year = "2021",
month = mar,
day = "9",
language = "русский",
pages = "381--382",
note = "Нанофизика и наноэлектроника : XXV Международный симпозиум ; Conference date: 09-03-2021 Through 12-03-2021",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Влияние барьерного cлоя на формирование межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах Mo/Si и Mo/Be

AU - Гайсин, Айдар Уралович

AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич

AU - Касатиков, Сергей Алексеевич

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

AU - Плешков, Роман Сергеевич

AU - Чхало, Николай Иванович

AU - Филатова, Елена Олеговна

PY - 2021/3/9

Y1 - 2021/3/9

N2 - Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии анализируется формирование промежуточных соединений, образующихся в результате введения барьерных слоев на межфазовых границах в многослойных структурах Mo/Si и Mo/Be. Установлено, что функциональность диффузионного барьера определяется стабильностью соединений, образующихся в результатеего введения.

AB - Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии анализируется формирование промежуточных соединений, образующихся в результате введения барьерных слоев на межфазовых границах в многослойных структурах Mo/Si и Mo/Be. Установлено, что функциональность диффузионного барьера определяется стабильностью соединений, образующихся в результатеего введения.

M3 - материалы

SP - 381

EP - 382

T2 - Нанофизика и наноэлектроника

Y2 - 9 March 2021 through 12 March 2021

ER -

ID: 88048715