Standard

Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе. / Лебедев, Денис Владимирович; Школдин, Виталий Алексеевич; Можаров, Алексей Михайлович; Петухов, Анатолий Евгеньевич; Голубок, Александр Олегович; Архипов, Александр; Мухин, Иван Сергеевич; Дубровский, Владимир Германович.

In: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", Vol. 48, No. 12, 2022, p. 15-18.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Лебедев, ДВ, Школдин, ВА, Можаров, АМ, Петухов, АЕ, Голубок, АО, Архипов, А, Мухин, ИС & Дубровский, ВГ 2022, 'Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе', ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", vol. 48, no. 12, pp. 15-18. https://doi.org/10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224

APA

Лебедев, Д. В., Школдин, В. А., Можаров, А. М., Петухов, А. Е., Голубок, А. О., Архипов, А., Мухин, И. С., & Дубровский, В. Г. (2022). Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе. ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ", 48(12), 15-18. https://doi.org/10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224

Vancouver

Лебедев ДВ, Школдин ВА, Можаров АМ, Петухов АЕ, Голубок АО, Архипов А et al. Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе. ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ". 2022;48(12):15-18. https://doi.org/10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224

Author

Лебедев, Денис Владимирович ; Школдин, Виталий Алексеевич ; Можаров, Алексей Михайлович ; Петухов, Анатолий Евгеньевич ; Голубок, Александр Олегович ; Архипов, Александр ; Мухин, Иван Сергеевич ; Дубровский, Владимир Германович. / Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе. In: ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ". 2022 ; Vol. 48, No. 12. pp. 15-18.

BibTeX

@article{8de023af0ddb4301aafdf44155a6ae84,
title = "Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе",
abstract = "A technique for synthesizing nanostructures by current lithography in a scanning tunneling microscope (STM lithography) in layered Au/Si structures has been developed. An experimental dependence of the geometric dimensions of the created nanostructures on the time of current STM lithography has been obtained. A theoretical model for the growth of nanostructures is proposed, which explains the nonlinear dependence of the radius of the obtained nanostructures on time with saturation in the region of large radii. Keywords: Au/Si nanostructures, STM lithography, growth rate, modeling.Разработана методика синтеза наноструктур методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе (СТМ-литографии) в слоистых структурах Au/Si. Получена экспериментальная зависимость геометрических размеров создаваемых наноструктур от времени токовой СТМ-литографии. Предложена теоретическая модель роста наноструктур, объясняющая нелинейную зависимость радиуса получаемых наноструктур от времени с насыщением в области больших радиусов. Ключевые слова: наноструктуры Au/Si, СТМ-литография, скорость роста, моделирование.",
author = "Лебедев, {Денис Владимирович} and Школдин, {Виталий Алексеевич} and Можаров, {Алексей Михайлович} and Петухов, {Анатолий Евгеньевич} and Голубок, {Александр Олегович} and Александр Архипов and Мухин, {Иван Сергеевич} and Дубровский, {Владимир Германович}",
year = "2022",
doi = "10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224",
language = "русский",
volume = "48",
pages = "15--18",
journal = "ПИСЬМА В {"}ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ{"}",
issn = "0320-0116",
publisher = "ФТИ им.Иоффе",
number = "12",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Формирование наноструктур Au/Si методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе

AU - Лебедев, Денис Владимирович

AU - Школдин, Виталий Алексеевич

AU - Можаров, Алексей Михайлович

AU - Петухов, Анатолий Евгеньевич

AU - Голубок, Александр Олегович

AU - Архипов, Александр

AU - Мухин, Иван Сергеевич

AU - Дубровский, Владимир Германович

PY - 2022

Y1 - 2022

N2 - A technique for synthesizing nanostructures by current lithography in a scanning tunneling microscope (STM lithography) in layered Au/Si structures has been developed. An experimental dependence of the geometric dimensions of the created nanostructures on the time of current STM lithography has been obtained. A theoretical model for the growth of nanostructures is proposed, which explains the nonlinear dependence of the radius of the obtained nanostructures on time with saturation in the region of large radii. Keywords: Au/Si nanostructures, STM lithography, growth rate, modeling.Разработана методика синтеза наноструктур методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе (СТМ-литографии) в слоистых структурах Au/Si. Получена экспериментальная зависимость геометрических размеров создаваемых наноструктур от времени токовой СТМ-литографии. Предложена теоретическая модель роста наноструктур, объясняющая нелинейную зависимость радиуса получаемых наноструктур от времени с насыщением в области больших радиусов. Ключевые слова: наноструктуры Au/Si, СТМ-литография, скорость роста, моделирование.

AB - A technique for synthesizing nanostructures by current lithography in a scanning tunneling microscope (STM lithography) in layered Au/Si structures has been developed. An experimental dependence of the geometric dimensions of the created nanostructures on the time of current STM lithography has been obtained. A theoretical model for the growth of nanostructures is proposed, which explains the nonlinear dependence of the radius of the obtained nanostructures on time with saturation in the region of large radii. Keywords: Au/Si nanostructures, STM lithography, growth rate, modeling.Разработана методика синтеза наноструктур методом токовой литографии в сканирующем туннельном микроскопе (СТМ-литографии) в слоистых структурах Au/Si. Получена экспериментальная зависимость геометрических размеров создаваемых наноструктур от времени токовой СТМ-литографии. Предложена теоретическая модель роста наноструктур, объясняющая нелинейную зависимость радиуса получаемых наноструктур от времени с насыщением в области больших радиусов. Ключевые слова: наноструктуры Au/Si, СТМ-литография, скорость роста, моделирование.

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/31340d80-501b-3ef1-bd8e-fc5edf5e594c/

U2 - 10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224

DO - 10.21883/pjtf.2022.12.52672.19224

M3 - статья

VL - 48

SP - 15

EP - 18

JO - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

JF - ПИСЬМА В "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ"

SN - 0320-0116

IS - 12

ER -

ID: 95341051