Линии P(28)–P(40) вращательной структуры колебательного перехода 0001–0200(с центром на длине волны 9,6 мкм) генерации CO2-лазера попадают в полосу поглощения колебания ν3 молекулы SiF4. Для интерпретации слабых резонансов спектра насыщения поглощения представляет интерес зависимость амплитуды резонансов от давления газа SiF4 и мощности лазерного луча. В работе проведены измерения мощности излучения CO2-лазера, прошедшего кювету с газом SiF4, в зависимости от давления газа при стремлении мощности излучения к нулю. Диапазон изменения давлений 1–20 мТорр. Частота генерации лазера изменялась в диапазоне 40–60 МГц в пределах каждой линии усиления CO2. По результатам измерений получены значения приведённого к единичному давлению газа коэффициента поглощения SiF4 в зависимости от частоты лазерного излучения.