Исследована фотолюминесценция пленок ZnO, полученных методом атомного наслаивания (ALD) на кремниевые подложки. Обнаружена новая широкая полоса фотолюминесценции в экситонной области спектра. В широком температурном диапазоне изучены ее свойства при различных уровнях возбуждения в спектрах пленок с разной кристаллической ориентацией подложек. Предложена модель, объясняющая природу новой полосы