Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › peer-review
Механизм формирования межслоевой области в многослойной структуре Mo/(B4C)/Be. / Сахоненков, Сергей Сергеевич; Касатиков, Сергей Алексеевич; Гайсин, Айдар Уралович; Полковников, Владимир Николаевич; Смертин, Руслан Маратович; Филатова, Елена Олеговна.
Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIV Международного симпозиума. В 2 т.. Vol. 2 Нижний Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2020. p. 907-908.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › peer-review
}
TY - GEN
T1 - Механизм формирования межслоевой области в многослойной структуре Mo/(B4C)/Be
AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич
AU - Касатиков, Сергей Алексеевич
AU - Гайсин, Айдар Уралович
AU - Полковников, Владимир Николаевич
AU - Смертин, Руслан Маратович
AU - Филатова, Елена Олеговна
PY - 2020
Y1 - 2020
N2 - Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.
AB - Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-91326-587-6
VL - 2
SP - 907
EP - 908
BT - Нанофизика и наноэлектроника
PB - Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
CY - Нижний Новгород
T2 - XXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
Y2 - 10 March 2020 through 13 March 2020
ER -
ID: 62361506