Research output: Patenting and IP registration › Certificate of registration
Программа для управления режимом работы источника вакуумного ультрафиолетового излучения (VUV-Valve). / Вилков, Олег Юрьевич (Inventor); Усачев, Дмитрий Юрьевич (Inventor); Жижин, Евгений Владимирович (Inventor); Пудиков, Дмитрий Александрович (Inventor).
Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Patent No.: 2019665984. Dec 03, 2019.Research output: Patenting and IP registration › Certificate of registration
}
TY - PAT
T1 - Программа для управления режимом работы источника вакуумного ультрафиолетового излучения (VUV-Valve)
AU - Вилков, Олег Юрьевич
AU - Усачев, Дмитрий Юрьевич
AU - Жижин, Евгений Владимирович
AU - Пудиков, Дмитрий Александрович
PY - 2019/12/3
Y1 - 2019/12/3
N2 - Программа предназначена для реализации способа дистанционного управления источникомвакуумного ультрафиолетового излучения для удобного и надежного контроля потока рабочегогаза при круглосуточных измерениях. Программа может быть интегрирована в коммерческиепрограммные продукты по управлению оборудованием на базе фотоэлектронных спектрометровс применением методики фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением. Кроме того,на основе программы можно реализовать технологию дистанционного контролируемого напускарабочего газа для иного вакуумного оборудования. К преимуществам программы (по отношениюк известным) относятся: возможность задавать оптимальный шаг для изменения потока рабочегогаза в широком диапазоне изменения рабочего давления газа для работы источника вакуумногоультрафиолетового излучения; реализация автоматического режима аварийной остановкисистемы напуска газа при нештатной работе источника вакуумного ультрафиолетового излучения:при отключении внешнего источника питания; при критичном изменении диапазона рабочегодавления газа; при отключении насосной группы, обеспечивающую работу источника вакуумногоультрафиолетового излучения; предусмотрены две дополнительные возможности по расширениюавтоматического режима аварийной остановки системы напуска газа при нештатной работеисточника вакуумного ультрафиолетового излучения; возможность интеграции в коммерческиепрограммные продукты.
AB - Программа предназначена для реализации способа дистанционного управления источникомвакуумного ультрафиолетового излучения для удобного и надежного контроля потока рабочегогаза при круглосуточных измерениях. Программа может быть интегрирована в коммерческиепрограммные продукты по управлению оборудованием на базе фотоэлектронных спектрометровс применением методики фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением. Кроме того,на основе программы можно реализовать технологию дистанционного контролируемого напускарабочего газа для иного вакуумного оборудования. К преимуществам программы (по отношениюк известным) относятся: возможность задавать оптимальный шаг для изменения потока рабочегогаза в широком диапазоне изменения рабочего давления газа для работы источника вакуумногоультрафиолетового излучения; реализация автоматического режима аварийной остановкисистемы напуска газа при нештатной работе источника вакуумного ультрафиолетового излучения:при отключении внешнего источника питания; при критичном изменении диапазона рабочегодавления газа; при отключении насосной группы, обеспечивающую работу источника вакуумногоультрафиолетового излучения; предусмотрены две дополнительные возможности по расширениюавтоматического режима аварийной остановки системы напуска газа при нештатной работеисточника вакуумного ультрафиолетового излучения; возможность интеграции в коммерческиепрограммные продукты.
M3 - свидетельство о регистрации
M1 - 2019665984
Y2 - 2019/11/19
PB - Федеральная служба по интеллектуальной собственности
ER -
ID: 49773751