Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si › SPbU Researchers Portal

Комплексная диагностика многослойных систем с наноразмерными слоями на примере структур Mo/Si

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Г. А. Вальковский
М. В. Байдакова
П. Н. Брунков
С. Г. Конников
А. А. Ситникова
М. А. Яговкина
Ю. М. Задиранов

Original language	Undefined
Pages (from-to)	591-601
Journal	ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
Volume	55
Issue number	3
State	Published - 2013
Externally published	Yes

ID: 5692678