Standard

Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si. / Сахоненков, Сергей Сергеевич; Конашук, Алексей Сергеевич; Филатова, Елена Олеговна.

Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций. М. : Российский научный центр "Курчатовский институт", 2017.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review

Harvard

Сахоненков, СС, Конашук, АС & Филатова, ЕО 2017, Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si. in Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций. Российский научный центр "Курчатовский институт", М., Синхротронные и нейтронные исследования. Национальная молодёжная научная школа для молодых учёных, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов, Москва, Russian Federation, 27/06/17.

APA

Сахоненков, С. С., Конашук, А. С., & Филатова, Е. О. (2017). Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si. In Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций Российский научный центр "Курчатовский институт".

Vancouver

Сахоненков СС, Конашук АС, Филатова ЕО. Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si. In Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций. М.: Российский научный центр "Курчатовский институт". 2017

Author

Сахоненков, Сергей Сергеевич ; Конашук, Алексей Сергеевич ; Филатова, Елена Олеговна. / Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si. Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017): Сборник аннотаций. М. : Российский научный центр "Курчатовский институт", 2017.

BibTeX

@inbook{23ce390ee0a84d56a43546ef6e93cfca,
title = "Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si",
author = "Сахоненков, {Сергей Сергеевич} and Конашук, {Алексей Сергеевич} and Филатова, {Елена Олеговна}",
year = "2017",
language = "русский",
booktitle = "Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017)",
publisher = "Российский научный центр {"}Курчатовский институт{"}",
address = "Российская Федерация",
note = "Синхротронные и нейтронные исследования. Национальная молодёжная научная школа для молодых учёных, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов, СИН-НАНО ; Conference date: 27-06-2017 Through 07-07-2017",

}

RIS

TY - CHAP

T1 - Физические механизмы формирования энергетического барьера на межфазовых границах в системах ALD-HfO2TiN/Si и TiN/ALD-γ-Al2O3/Si

AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

AU - Филатова, Елена Олеговна

PY - 2017

Y1 - 2017

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=30484787

M3 - тезисы в сборнике материалов конференции

BT - Синхротронные и нейтронные исследования» (СИН-нано-2017)

PB - Российский научный центр "Курчатовский институт"

CY - М.

T2 - Синхротронные и нейтронные исследования. Национальная молодёжная научная школа для молодых учёных, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов

Y2 - 27 June 2017 through 7 July 2017

ER -

ID: 99684903