Research output: Contribution to journal › Article
Анализ кремния с помощью время-пролетного масс-спектрометра с импульсным тлеющим разрядом Люмас-30. / Ганеев, А.А.; Губаль, А.Р.; Потапов, С.В.; Тюкальцев, Р.В.
In: МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ, Vol. 6, No. 4, 2009, p. 289 -294.Research output: Contribution to journal › Article
}
TY - JOUR
T1 - Анализ кремния с помощью время-пролетного масс-спектрометра с импульсным тлеющим разрядом Люмас-30
AU - Ганеев, А.А.
AU - Губаль, А.Р.
AU - Потапов, С.В.
AU - Тюкальцев, Р.В.
PY - 2009
Y1 - 2009
M3 - статья
VL - 6
SP - 289
EP - 294
JO - МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ
JF - МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ
SN - 1817-969X
IS - 4
ER -
ID: 5203330