Представлены результаты исследования структурных, оптических и фотолюминесцентных свойств тонких пленок ZnО, созданных по различным корпускулярно-фотонным технологиям: реактивного ионно-плазменного распыления, импульсного электронно-лучевого испарения и лазерной абляции. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа пленок оксида цинка, синтезированных на подложках из кварца КУ-1. Приведены спектры пропускания, спектры отражения, спектры поглощения и спектральная зависимость фотолюминесценции тонких пленок ZnO в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра.