Standard

Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. / Маслова, Надежда Артемовна; Данилов, Денис Васильевич; Вывенко, Олег Федорович; Скуратов, В. А.; Володин, В. А. ; Калядин, Антон Евгеньевич; Соболев, Н. А.

In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 59, No. 5, 24.09.2025, p. 298-301.

Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

Harvard

Маслова, НА, Данилов, ДВ, Вывенко, ОФ, Скуратов, ВА, Володин, ВА, Калядин, АЕ & Соболев, НА 2025, 'Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов', ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, vol. 59, no. 5, pp. 298-301. https://doi.org/10.61011/FTP.2025.05.61477.8047

APA

Маслова, Н. А., Данилов, Д. В., Вывенко, О. Ф., Скуратов, В. А., Володин, В. А., Калядин, А. Е., & Соболев, Н. А. (2025). Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, 59(5), 298-301. https://doi.org/10.61011/FTP.2025.05.61477.8047

Vancouver

Маслова НА, Данилов ДВ, Вывенко ОФ, Скуратов ВА, Володин ВА, Калядин АЕ et al. Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2025 Sep 24;59(5):298-301. https://doi.org/10.61011/FTP.2025.05.61477.8047

Author

Маслова, Надежда Артемовна ; Данилов, Денис Васильевич ; Вывенко, Олег Федорович ; Скуратов, В. А. ; Володин, В. А. ; Калядин, Антон Евгеньевич ; Соболев, Н. А. / Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов. In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 2025 ; Vol. 59, No. 5. pp. 298-301.

BibTeX

@article{12b1f21b61cf4dee88ba6e09764dad2b,
title = "Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов",
author = "Маслова, {Надежда Артемовна} and Данилов, {Денис Васильевич} and Вывенко, {Олег Федорович} and Скуратов, {В. А.} and Володин, {В. А.} and Калядин, {Антон Евгеньевич} and Соболев, {Н. А.}",
year = "2025",
month = sep,
day = "24",
doi = "10.61011/FTP.2025.05.61477.8047",
language = "русский",
volume = "59",
pages = "298--301",
journal = "ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ",
issn = "0015-3222",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "5",
note = "null ; Conference date: 20-10-2025 Through 24-10-2025",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Комплексы собственных точечных дефектов в кремнии, сформированные в результате ионной имплантации ксенона высоких энергий и постимплантационных отжигов

AU - Маслова, Надежда Артемовна

AU - Данилов, Денис Васильевич

AU - Вывенко, Олег Федорович

AU - Скуратов, В. А.

AU - Володин, В. А.

AU - Калядин, Антон Евгеньевич

AU - Соболев, Н. А.

PY - 2025/9/24

Y1 - 2025/9/24

U2 - 10.61011/FTP.2025.05.61477.8047

DO - 10.61011/FTP.2025.05.61477.8047

M3 - статья в журнале по материалам конференции

VL - 59

SP - 298

EP - 301

JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

SN - 0015-3222

IS - 5

Y2 - 20 October 2025 through 24 October 2025

ER -

ID: 141715574