Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Структурные и фотоэлектрические свойства тонких пленок оксида цинка на подложке танталата лития. / Григорьев, Л.В.; Семенов, А.А.; Михайлов, А.В.
In: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ, Vol. 55, No. 12, 01.12.2021, p. 1180-1185.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Структурные и фотоэлектрические свойства тонких пленок оксида цинка на подложке танталата лития
AU - Григорьев, Л.В.
AU - Семенов, А.А.
AU - Михайлов, А.В.
PY - 2021/12/1
Y1 - 2021/12/1
N2 - Представлены результаты исследования структурных и фотоэлектрических свойств тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO3. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа и данных атомно-силовой микроскопии для пленок оксида цинка, синтезированных на подложке из монокристаллического танталата лития и на подложке из полированного кварца КУ-1. Приведена спектральная зависимость фотоэлектрического тока тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO3 и структуры ZnO-кварц в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Представлены результаты восстановления методом регуляризации Тихонова-Лаврентьева энергетического спектра оптически активных дефектов, присутствующих в структуре ZnО-LiTaO3. Ключевые слова: тонкие пленки, оксид цинка, лазерная абляция, сегнетоэлектрические материалы, фотопроводимость, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия, регуляризация Тихонова-Лаврентьева.
AB - Представлены результаты исследования структурных и фотоэлектрических свойств тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO3. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа и данных атомно-силовой микроскопии для пленок оксида цинка, синтезированных на подложке из монокристаллического танталата лития и на подложке из полированного кварца КУ-1. Приведена спектральная зависимость фотоэлектрического тока тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO3 и структуры ZnO-кварц в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Представлены результаты восстановления методом регуляризации Тихонова-Лаврентьева энергетического спектра оптически активных дефектов, присутствующих в структуре ZnО-LiTaO3. Ключевые слова: тонкие пленки, оксид цинка, лазерная абляция, сегнетоэлектрические материалы, фотопроводимость, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия, регуляризация Тихонова-Лаврентьева.
UR - http://journals.ioffe.ru/articles/51703
M3 - статья
VL - 55
SP - 1180
EP - 1185
JO - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
JF - ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
SN - 0015-3222
IS - 12
ER -
ID: 86242094