Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Характеристики матричного катода из карбида кремния в предпробойных и пробойных условиях. / Морозов, Виктор Александрович; Егоров, Николай Васильевич; Трофимов, Василий Валерьевич; Никифоров, Константин Аркадьевич; Закиров, Ильдар Илюсович; Кац, Виктор Михайлович; Ильин, В.А.; Иванов, А.С.
In: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, Vol. 93, No. 4, 2023, p. 568-574.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Характеристики матричного катода из карбида кремния в предпробойных и пробойных условиях
AU - Морозов, Виктор Александрович
AU - Егоров, Николай Васильевич
AU - Трофимов, Василий Валерьевич
AU - Никифоров, Константин Аркадьевич
AU - Закиров, Ильдар Илюсович
AU - Кац, Виктор Михайлович
AU - Ильин, В.А.
AU - Иванов, А.С.
PY - 2023
Y1 - 2023
N2 - Исследован перспективный источник полевой электронной эмиссии на основе микроразмерных монолитных матричных катодов. Матричные многоострийные эмиттеры изготовлены на монокристаллических пластинах карбида кремния (0001С) 6H-SiC n-типа проводимости с использованием технологии двухступенчатого реактивного ионного травления в атмосфере SF6/O2/Ar. Для реализации предпробойных и пробойных условий работы катода использовалась экспериментальная установка на базе генератора коротких высоковольтных импульсов ГКВИ-300. Генерировалась серия наносекундных импульсов напряжения с амплитудами от 120 до 250 kV. Для изучения характеристик матричного катода в предпробойном и пробойном состоянии пучок эмитированных автоэлектронов отделялся от ионного факела или катодной плазмы, образующейся на следующих фазах пробоя, путем постановки в межэлектродный промежуток титановой фольги толщиной 50 μm под нулевым потенциалом. Построенные по пиковым значениям напряжения и тока, прошедшего через фольгу, вольт-амперные характеристики в координатах Фаулера-Нордгейма близки к прямолинейным. Вольт-амперные характеристики, построенные для каждого из импульсов по фронту и спаду, демонстрируют расхождение. После проведенных экспериментов катод из карбида кремния был исследован в растровом электронном микроскопе.
AB - Исследован перспективный источник полевой электронной эмиссии на основе микроразмерных монолитных матричных катодов. Матричные многоострийные эмиттеры изготовлены на монокристаллических пластинах карбида кремния (0001С) 6H-SiC n-типа проводимости с использованием технологии двухступенчатого реактивного ионного травления в атмосфере SF6/O2/Ar. Для реализации предпробойных и пробойных условий работы катода использовалась экспериментальная установка на базе генератора коротких высоковольтных импульсов ГКВИ-300. Генерировалась серия наносекундных импульсов напряжения с амплитудами от 120 до 250 kV. Для изучения характеристик матричного катода в предпробойном и пробойном состоянии пучок эмитированных автоэлектронов отделялся от ионного факела или катодной плазмы, образующейся на следующих фазах пробоя, путем постановки в межэлектродный промежуток титановой фольги толщиной 50 μm под нулевым потенциалом. Построенные по пиковым значениям напряжения и тока, прошедшего через фольгу, вольт-амперные характеристики в координатах Фаулера-Нордгейма близки к прямолинейным. Вольт-амперные характеристики, построенные для каждого из импульсов по фронту и спаду, демонстрируют расхождение. После проведенных экспериментов катод из карбида кремния был исследован в растровом электронном микроскопе.
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53935267
UR - https://www.mendeley.com/catalogue/15f3f457-a8a2-3189-a455-cf32c2d35a68/
U2 - 10.21883/jtf.2023.04.55046.257-22
DO - 10.21883/jtf.2023.04.55046.257-22
M3 - статья
VL - 93
SP - 568
EP - 574
JO - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
JF - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
SN - 0044-4642
IS - 4
ER -
ID: 106507585