ТЕОРИЯ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Original language	Russian
Pages (from-to)	257-263
Journal	ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Volume	40
Issue number	3
State	Published - 2006
Externally published	Yes

ID: 5302346