Standard

Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния. / Григорьев, Леонид Владимирович; Семенов, Александр A.; Михайлов, Анатолий.

In: ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ, Vol. 131, No. 12, 12.2023, p. 1708-1713.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Григорьев, ЛВ, Семенов, АA & Михайлов, А 2023, 'Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния', ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ, vol. 131, no. 12, pp. 1708-1713. https://doi.org/10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23

APA

Григорьев, Л. В., Семенов, А. A., & Михайлов, А. (2023). Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния. ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ, 131(12), 1708-1713. https://doi.org/10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23

Vancouver

Григорьев ЛВ, Семенов АA, Михайлов А. Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния. ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. 2023 Dec;131(12):1708-1713. https://doi.org/10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23

Author

Григорьев, Леонид Владимирович ; Семенов, Александр A. ; Михайлов, Анатолий. / Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния. In: ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. 2023 ; Vol. 131, No. 12. pp. 1708-1713.

BibTeX

@article{62fbc8b86734467292db4efccd74b870,
title = "Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния",
author = "Григорьев, {Леонид Владимирович} and Семенов, {Александр A.} and Анатолий Михайлов",
year = "2023",
month = dec,
doi = "10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23",
language = "русский",
volume = "131",
pages = "1708--1713",
journal = "ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ",
issn = "0030-4034",
publisher = "Международная книга",
number = "12",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния

AU - Григорьев, Леонид Владимирович

AU - Семенов, Александр A.

AU - Михайлов, Анатолий

PY - 2023/12

Y1 - 2023/12

U2 - 10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23

DO - 10.61011/OS.2023.12.57407.5501-23

M3 - статья

VL - 131

SP - 1708

EP - 1713

JO - ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ

JF - ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ

SN - 0030-4034

IS - 12

ER -

ID: 116502957