TY - PAT

T1 - Устройство для намагничивания тонкопленочных покрытий в вакууме

AU - Жижин, Евгений Владимирович

AU - Пудиков, Дмитрий Александрович

PY - 2023/3/14

Y1 - 2023/3/14

N2 - Полезная модель относится к области спинтроники и наноэлектроники и может быть использована для намагничивания тонкопленочных покрытий в технологическом цикле производства полупроводниковой элементной базы для портативных приборов. Устройство состоит из вакуумной камеры, системы откачки и контроля давления, шлюзового вентиля, смотрового окна, устройства захвата подложки, поворотного столика и намагничивающих катушек с управляющим блоком. При достижении давления в вакуумной камере от 10-8 до 10-10 мбар шлюзовой вентиль открывается и в центр камеры вносится подложка. Подложка захватывается устройством захвата, после чего шлюзовой вентиль закрывается, изолируя объем вакуумной камеры от остальной вакуумной системы. Для намагничивания подложки в поперечном направлении ее поворачивают устройством захвата так, чтобы она была параллельна плоскости намагничивающих катушек, и вдвигают в центр вакуумной камеры. Затем в центр вакуумной камеры вдвигаются намагничивающие катушки. По окончании процесса намагничивания катушки отводят к стенке вакуумной камеры. Для намагничивания подложки в продольном направлении ее сначала с помощью устройства захвата фиксируют на поверхности поворотного столика, предварительно вдвинутого в центр внутрь вакуумной камеры. Затем в центр вакуумной камеры вдвигаются намагничивающие катушки. После намагничивания подложки катушки, устройство захвата, с предварительно снятой подложкой с поворотного столика, и поворотный столик отводят из центра вакуумной камеры к краям. По окончании процесса намагничивания шлюзовой вентиль открывается, и подложку забирают из устройства захвата в основную вакуумную систему для дальнейшей работы с ней, а шлюзовой вентиль закрывают. Намагничивание тонкопленочного покрытия в вакууме в продольном и поперечном направлении достигается за счет использования соосно размещенных внутри вакуумной камеры намагничивающих катушек с возможностью линейного перемещения и устройства захвата подложки, выполненного в виде подвижного штока, с возможностью линейного перемещения вдоль своей оси и вращения вокруг нее на 360°.

AB - Полезная модель относится к области спинтроники и наноэлектроники и может быть использована для намагничивания тонкопленочных покрытий в технологическом цикле производства полупроводниковой элементной базы для портативных приборов. Устройство состоит из вакуумной камеры, системы откачки и контроля давления, шлюзового вентиля, смотрового окна, устройства захвата подложки, поворотного столика и намагничивающих катушек с управляющим блоком. При достижении давления в вакуумной камере от 10-8 до 10-10 мбар шлюзовой вентиль открывается и в центр камеры вносится подложка. Подложка захватывается устройством захвата, после чего шлюзовой вентиль закрывается, изолируя объем вакуумной камеры от остальной вакуумной системы. Для намагничивания подложки в поперечном направлении ее поворачивают устройством захвата так, чтобы она была параллельна плоскости намагничивающих катушек, и вдвигают в центр вакуумной камеры. Затем в центр вакуумной камеры вдвигаются намагничивающие катушки. По окончании процесса намагничивания катушки отводят к стенке вакуумной камеры. Для намагничивания подложки в продольном направлении ее сначала с помощью устройства захвата фиксируют на поверхности поворотного столика, предварительно вдвинутого в центр внутрь вакуумной камеры. Затем в центр вакуумной камеры вдвигаются намагничивающие катушки. После намагничивания подложки катушки, устройство захвата, с предварительно снятой подложкой с поворотного столика, и поворотный столик отводят из центра вакуумной камеры к краям. По окончании процесса намагничивания шлюзовой вентиль открывается, и подложку забирают из устройства захвата в основную вакуумную систему для дальнейшей работы с ней, а шлюзовой вентиль закрывают. Намагничивание тонкопленочного покрытия в вакууме в продольном и поперечном направлении достигается за счет использования соосно размещенных внутри вакуумной камеры намагничивающих катушек с возможностью линейного перемещения и устройства захвата подложки, выполненного в виде подвижного штока, с возможностью линейного перемещения вдоль своей оси и вращения вокруг нее на 360°.

M3 - патент

M1 - RU217003U1

ER -