Представлены результаты исследования процессов токопереноса в термически окисленном пористом кремнии. Предложена модель, основанная на совокупности прыжкового и туннельного механизмов переноса заряда. Оценены концентрации центров захвата (ловушек) и подвижность носителей заряда на основе измерений вольт-амперных характеристик при 100 и 300 K.