The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьянаучнаярецензирование

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)49
Число страниц55
ЖурналSolid State Sciences
Том83
DOI
СостояниеОпубликовано - сен 2018

Цитировать

@article{a5bc3658fe324419956105430950f60f,
title = "The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge",
author = "Ганеев, {Александр Ахатович} and Губаль, {Анна Романовна} and Соловьев, {Николай Дмитриевич} and Коротецкий, {Борис Александрович} and Чучина, {Виктория Александровна} and Немец, {Валерий Михайлович}",
year = "2018",
month = "9",
doi = "https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003",
language = "English",
volume = "83",
pages = "49",
journal = "Solid State Sciences",
issn = "1293-2558",
publisher = "Elsevier",

}

The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. / Ганеев, Александр Ахатович; Губаль, Анна Романовна; Соловьев, Николай Дмитриевич; Коротецкий, Борис Александрович; Чучина, Виктория Александровна; Немец, Валерий Михайлович.

В: Solid State Sciences, Том 83, 09.2018, стр. 49.

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьянаучнаярецензирование

TY - JOUR

T1 - The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

AU - Ганеев, Александр Ахатович

AU - Губаль, Анна Романовна

AU - Соловьев, Николай Дмитриевич

AU - Коротецкий, Борис Александрович

AU - Чучина, Виктория Александровна

AU - Немец, Валерий Михайлович

PY - 2018/9

Y1 - 2018/9

U2 - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

DO - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

M3 - Article

VL - 83

SP - 49

JO - Solid State Sciences

JF - Solid State Sciences

SN - 1293-2558

ER -