The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

Александр Ахатович Ганеев, Анна Романовна Губаль, Николай Дмитриевич Соловьев, Борис Александрович Коротецкий, Виктория Александровна Чучина, Валерий Михайлович Немец

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › научная › рецензирование

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)49
Число страниц55
ЖурналSolid State Sciences
Том83
DOI
СостояниеОпубликовано - сен 2018

Цитировать

Ганеев, Александр Ахатович ; Губаль, Анна Романовна ; Соловьев, Николай Дмитриевич ; Коротецкий, Борис Александрович ; Чучина, Виктория Александровна ; Немец, Валерий Михайлович. / The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. В: Solid State Sciences. 2018 ; Том 83. стр. 49.
@article{a5bc3658fe324419956105430950f60f,
title = "The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge",
author = "Ганеев, {Александр Ахатович} and Губаль, {Анна Романовна} and Соловьев, {Николай Дмитриевич} and Коротецкий, {Борис Александрович} and Чучина, {Виктория Александровна} and Немец, {Валерий Михайлович}",
year = "2018",
month = "9",
doi = "https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003",
language = "English",
volume = "83",
pages = "49",
journal = "Solid State Sciences",
issn = "1293-2558",
publisher = "Elsevier",

}

Ганеев, АА, Губаль, АР, Соловьев, НД, Коротецкий, БА, Чучина, ВА & Немец, ВМ 2018, 'The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge', Solid State Sciences, том. 83, стр. 49. https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. / Ганеев, Александр Ахатович; Губаль, Анна Романовна; Соловьев, Николай Дмитриевич; Коротецкий, Борис Александрович; Чучина, Виктория Александровна; Немец, Валерий Михайлович.

В: Solid State Sciences, Том 83, 09.2018, стр. 49.

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › научная › рецензирование

TY - JOUR

T1 - The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

AU - Ганеев, Александр Ахатович

AU - Губаль, Анна Романовна

AU - Соловьев, Николай Дмитриевич

AU - Коротецкий, Борис Александрович

AU - Чучина, Виктория Александровна

AU - Немец, Валерий Михайлович

PY - 2018/9

Y1 - 2018/9

U2 - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

DO - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

M3 - Article

VL - 83

SP - 49

JO - Solid State Sciences

JF - Solid State Sciences

SN - 1293-2558

ER -

Ганеев АА, Губаль АР, Соловьев НД, Коротецкий БА, Чучина ВА, Немец ВМ. The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. Solid State Sciences. 2018 Сент.;83:49. https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

Доступ к документам