The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

Александр Ахатович Ганеев, Анна Романовна Губаль, Николай Дмитриевич Соловьев, Борис Александрович Коротецкий, Виктория Александровна Чучина, Валерий Михайлович Немец

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья

2 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)49
Число страниц55
ЖурналSolid State Sciences
Том83
DOI
СостояниеОпубликовано - сен 2018

Цитировать