The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

Александр Ахатович Ганеев; Анна Романовна Губаль; Николай Дмитриевич Соловьев; Борис Александрович Коротецкий; Виктория Александровна Чучина; Валерий Михайлович Немец

doi:https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

Александр Ахатович Ганеев, Анна Романовна Губаль, Николай Дмитриевич Соловьев, Борис Александрович Коротецкий, Виктория Александровна Чучина, Валерий Михайлович Немец

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья

2 Цитирования (Scopus)

Язык оригинала	английский
Страницы (с-по)	49
Число страниц	55
Журнал	Solid State Sciences
Том	83
DOI	https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003
Состояние	Опубликовано - сен 2018

Доступ к документу

https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

Цитировать

Ганеев, Александр Ахатович ; Губаль, Анна Романовна ; Соловьев, Николай Дмитриевич ; Коротецкий, Борис Александрович ; Чучина, Виктория Александровна ; Немец, Валерий Михайлович. / The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. В: Solid State Sciences. 2018 ; Том 83. стр. 49.

@article{a5bc3658fe324419956105430950f60f,

title = "The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge",

author = "Ганеев, {Александр Ахатович} and Губаль, {Анна Романовна} and Соловьев, {Николай Дмитриевич} and Коротецкий, {Борис Александрович} and Чучина, {Виктория Александровна} and Немец, {Валерий Михайлович}",

year = "2018",

month = sep,

doi = "https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003",

language = "English",

volume = "83",

pages = "49",

journal = "Solid State Sciences",

issn = "1293-2558",

publisher = "Elsevier",

}

The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge. / Ганеев, Александр Ахатович; Губаль, Анна Романовна; Соловьев, Николай Дмитриевич; Коротецкий, Борис Александрович; Чучина, Виктория Александровна; Немец, Валерий Михайлович.

В: Solid State Sciences, Том 83, 09.2018, стр. 49.

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья

TY - JOUR

T1 - The formation of an oscillating system during the sputtering of sapphire single crystal with pulsed glow discharge

AU - Ганеев, Александр Ахатович

AU - Губаль, Анна Романовна

AU - Соловьев, Николай Дмитриевич

AU - Коротецкий, Борис Александрович

AU - Чучина, Виктория Александровна

AU - Немец, Валерий Михайлович

PY - 2018/9

Y1 - 2018/9

U2 - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

DO - https://doi.org/10.1016/j.solidstatesciences.2018.07.003

M3 - Article

VL - 83

SP - 49

JO - Solid State Sciences

JF - Solid State Sciences

SN - 1293-2558

ER -