Probing the Composition and Extension of Interface by HAXPES. Inhibition of Oxygen Scavenging by TiN at the TiN/Dielectric Interface by Protective Layer

Результат исследований: Материалы конференцийтезисы

19 Загрузки (Pure)
Язык оригиналаанглийский
СтраницыOC-06
Число страниц1
СостояниеОпубликовано - 2019

Цитировать