Membrane-Capacitive transducer with compensation for the Primary Standard of Pressure

I.V. Andronov, V.N. Gorobey, E.K. Izrailov, R.E. Kuvandykov, A.A. Lobashev, A.A. Chernyshenko

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

The paper discusses improvements for the primary vacuum-meter transducer for measuring absolute pressure in a wide range from 0.1 to 10 Pa.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012002
Число страниц5
ЖурналIOP Conference Series: Materials Science and Engineering
Том387
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 17 июл 2018
Событие25th International Conference on Vacuum Technique and Technology - Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI", St. Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 5 июн 20187 июн 2018
Номер конференции: 138441

Предметные области Scopus

  • Материаловедение (все)
  • Технология (все)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Membrane-Capacitive transducer with compensation for the Primary Standard of Pressure». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать