MEASUREMENT OF THE STEP HEIGHT IN THE NANOMETRIC RANGE USING A LASER MICROINTERFEROMETER

A.N. Korolev, V.I. Korotkov, A.Ya. Lukin, S.A. Pul'kin, A.L. Sizov

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья

5 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)352-358
ЖурналMeasurement Techniques
Том48
Номер выпуска4
СостояниеОпубликовано - 2005
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать