Magnification of interferogram with the use of digital holography

V. Ivanov, S. Pul'Kin, A. Sevryugin, V. Venediktov

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучная

Аннотация

The method of holographic interferometry with the increased sensitivity was applied for measurements of height of nano-steps (from 10 nm and higher) with standard uncertainty about 0.5 nm. The increasing of sensitivity is obtained by interference of waves with mutually complex conjugated phases. © 2014 IEEE.
Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings - 2014 International Conference Laser Optics, LO 2014
DOI
СостояниеОпубликовано - 2014

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Magnification of interferogram with the use of digital holography». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать