LASER INTERFEROMETRIC DIFFRACTOMETRY FOR MEASUREMENTS OF DIFFRACTION GRATING SPACING

V.I. Korotkov, S.A. Pulkin, A.L. Vitushkin

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья

36 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)4782-4786
ЖурналApplied Optics
Том35
Номер выпуска24
СостояниеОпубликовано - 1996
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать