Standard

Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds. / Филатова, Елена Олеговна; Сахоненков, Сергей Сергеевич; Гайсин, Айдар Уралович; Конашук, Алексей Сергеевич.

в: Physical Chemistry Chemical Physics, 2020.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Harvard

APA

Vancouver

Author

BibTeX

@article{1404bea422194d85a201aef0f79508a4,
title = "Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds",
author = "Филатова, {Елена Олеговна} and Сахоненков, {Сергей Сергеевич} and Гайсин, {Айдар Уралович} and Конашук, {Алексей Сергеевич}",
year = "2020",
doi = "10.1039/D0CP05180B",
language = "English",
journal = "Physical Chemistry Chemical Physics",
issn = "1463-9076",
publisher = "Royal Society of Chemistry",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds

AU - Филатова, Елена Олеговна

AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич

AU - Гайсин, Айдар Уралович

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

PY - 2020

Y1 - 2020

U2 - 10.1039/D0CP05180B

DO - 10.1039/D0CP05180B

M3 - Article

JO - Physical Chemistry Chemical Physics

JF - Physical Chemistry Chemical Physics

SN - 1463-9076

ER -

ID: 71886225