Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds. / Филатова, Елена Олеговна; Сахоненков, Сергей Сергеевич; Гайсин, Айдар Уралович; Конашук, Алексей Сергеевич.
в: Physical Chemistry Chemical Physics, 2020.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds
AU - Филатова, Елена Олеговна
AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич
AU - Гайсин, Айдар Уралович
AU - Конашук, Алексей Сергеевич
PY - 2020
Y1 - 2020
U2 - 10.1039/D0CP05180B
DO - 10.1039/D0CP05180B
M3 - Article
JO - Physical Chemistry Chemical Physics
JF - Physical Chemistry Chemical Physics
SN - 1463-9076
ER -
ID: 71886225