Inhibition of chemical interaction of molybdenum and silicon in Mo/Si multilayer structure by formation of intermediate compounds

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Язык оригиналаанглийский
Число страниц10
ЖурналPhysical Chemistry Chemical Physics
DOI
СостояниеОпубликовано - 2020

Цитировать