Helium-ion microscope as a tool for gentle modification on the nanoscale

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийглава/разделнаучнаярецензирование

Аннотация

The most pronounced differences in material properties between the massive and nano sized object appear when one of its dimensions becomes typically less than 10 nm and experimental techniques for the characterization and modification of such objects are needed. The chapter contains a short introduction into helium ion microscopy as a tool for sub-nm imaging and for sub-10-nm “wet” and “dry” lithography.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииSpringer Series in Chemical Physics
ИздательSpringer Nature
Страницы279-284
Число страниц6
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв 2017

Серия публикаций

НазваниеSpringer Series in Chemical Physics
Том115
ISSN (печатное издание)0172-6218

Предметные области Scopus

  • Физическая и теоретическая химия

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Helium-ion microscope as a tool for gentle modification on the nanoscale». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать