Halide Vapor Phase Epitaxy α- and ε-Ga2O3 Epitaxial Films Grown on Patterned Sapphire Substrates

Sevastian Shapenkov, Oleg Vyvenko, Evgeny Ubyivovk, Oleg Medvedev, Georgiy Varygin, Andrey Chikiryaka, Alexei Pechnikov, Mikhail Scheglov, Sergei Stepanov, Vladimir Nikolaev

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

14 Цитирования (Scopus)

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Halide Vapor Phase Epitaxy α- and ε-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Epitaxial Films Grown on Patterned Sapphire Substrates». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение

Химические соединения

Физика и астрономия