Formation of a complex topologies of saw-based inertial sensors by laser thin film local evaporation

Alexander Kukaev, Dmitry Lukyanov, Denis Mikhailenko, Daniil Safronov, Sergey Shevchenko, Vladimir Venediktov, Andrey Vlasov

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of a complex topologies of saw-based inertial sensors by laser thin film local evaporation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Технические дисциплины и материаловедение