Electroluminescence evaluation of the SiO2-Si structures using an electrolyte-SiO2-Si cell

A. P. Baraban, P. P. Konorov, S. A. Bota, J. R. Morante

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

4 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The use of an Electrolyte-SiO2-Si system allows a detailed control of the electron injection from the electrolyte into SiO2 layer, and makes feasible to reach the electron heating in the conduction band of SiO2 before to take place the irreversible breakdown. The injected and heated electrons enhanced the probability of the SiO2 defect excitation as well as the Si-O bond breaking. Both features give raise to the relaxation processes which are responsible of the electroluminescence characteristics of the oxide. So, the measured electroluminescence spectrum presents straightforward information on the defect types, their nature and possible precursor defect behaviour. Results on silicon oxides obtained from different technological processes and treatments, corroborate the above analysis and show the electro-luminescence of SiO2 as an interesting and powerful method to evaluate the SiO2 properties.

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииMaterials Research Society Symposium Proceedings
РедакторыM.A. Tischler, R.T. Collins, M.L.W. Thewalt, G. Abstreiter
ИздательMaterials Research Society
Страницы253-258
Число страниц6
ISBN (печатное издание)1558991948
СостояниеОпубликовано - 1 дек 1993
СобытиеProceedings of the Symposium on Silicon-Based Optoelectronic Materials - San Francisco, CA, USA
Продолжительность: 12 апр 199314 апр 1993

Серия публикаций

НазваниеMaterials Research Society Symposium Proceedings
Том298
ISSN (печатное издание)0272-9172

конференция

конференцияProceedings of the Symposium on Silicon-Based Optoelectronic Materials
ГородSan Francisco, CA, USA
Период12/04/9314/04/93

Предметные области Scopus

  • Материаловедение (все)
  • Физика конденсатов
  • Сопротивление материалов
  • Общее машиностроение

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Electroluminescence evaluation of the SiO<sub>2</sub>-Si structures using an electrolyte-SiO<sub>2</sub>-Si cell». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать