Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

A.A. Sevrygin; V.I. Korotkov; S.A. Pulkin; I.M. Tursunov; D.V. Venediktov; V.Yu. Venediktov; O.V. Volkov

Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

A.A. Sevrygin, V.I. Korotkov, S.A. Pulkin, I.M. Tursunov, D.V. Venediktov, V.Yu. Venediktov, O.V. Volkov

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

9 Цитирования (Scopus)

Язык оригинала	английский
Название основной публикации	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Состояние	Опубликовано - 2014
Опубликовано для внешнего пользования	Да

Цитировать

@inproceedings{f9778749ccdf4976b46ad140d3fb56e1,

title = "Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology",

author = "A.A. Sevrygin and V.I. Korotkov and S.A. Pulkin and I.M. Tursunov and D.V. Venediktov and V.Yu. Venediktov and O.V. Volkov",

year = "2014",

language = "English",

isbn = "978-162841344-1",

booktitle = "Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering",

}

Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. / Sevrygin, A.A.; Korotkov, V.I.; Pulkin, S.A.; Tursunov, I.M.; Venediktov, D.V.; Venediktov, V.Yu.; Volkov, O.V.

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2014.

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

TY - GEN

T1 - Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

AU - Sevrygin, A.A.

AU - Korotkov, V.I.

AU - Pulkin, S.A.

AU - Tursunov, I.M.

AU - Venediktov, D.V.

AU - Venediktov, V.Yu.

AU - Volkov, O.V.

PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - Conference contribution

SN - 978-162841344-1

BT - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ER -