Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

A.A. Sevrygin, V.I. Korotkov, S.A. Pulkin, I.M. Tursunov, D.V. Venediktov, V.Yu. Venediktov, O.V. Volkov

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

9 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
СостояниеОпубликовано - 2014
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать