Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

A.A. Sevrygin, V.I. Korotkov, S.A. Pulkin, I.M. Tursunov, D.V. Venediktov, V.Yu. Venediktov, O.V. Volkov

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференции

7 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
СостояниеОпубликовано - 2014
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать

Sevrygin, A. A., Korotkov, V. I., Pulkin, S. A., Tursunov, I. M., Venediktov, D. V., Venediktov, V. Y., & Volkov, O. V. (2014). Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. В Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Sevrygin, A.A. ; Korotkov, V.I. ; Pulkin, S.A. ; Tursunov, I.M. ; Venediktov, D.V. ; Venediktov, V.Yu. ; Volkov, O.V. / Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2014.
@inproceedings{f9778749ccdf4976b46ad140d3fb56e1,
title = "Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology",
author = "A.A. Sevrygin and V.I. Korotkov and S.A. Pulkin and I.M. Tursunov and D.V. Venediktov and V.Yu. Venediktov and O.V. Volkov",
year = "2014",
language = "English",
isbn = "978-162841344-1",
booktitle = "Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering",

}

Sevrygin, AA, Korotkov, VI, Pulkin, SA, Tursunov, IM, Venediktov, DV, Venediktov, VY & Volkov, OV 2014, Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. в Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering.

Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. / Sevrygin, A.A.; Korotkov, V.I.; Pulkin, S.A.; Tursunov, I.M.; Venediktov, D.V.; Venediktov, V.Yu.; Volkov, O.V.

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2014.

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференции

TY - GEN

T1 - Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology

AU - Sevrygin, A.A.

AU - Korotkov, V.I.

AU - Pulkin, S.A.

AU - Tursunov, I.M.

AU - Venediktov, D.V.

AU - Venediktov, V.Yu.

AU - Volkov, O.V.

PY - 2014

Y1 - 2014

M3 - Conference contribution

SN - 978-162841344-1

BT - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ER -

Sevrygin AA, Korotkov VI, Pulkin SA, Tursunov IM, Venediktov DV, Venediktov VY и соавт. Digital holographic Michelson interferometer for nanometrology. В Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2014