Application of soft X-ray reflectometry for analysis of underlayer influence on structure of atomic-layer deposited SrTixOy films

E.O. Filatova, I.V. Kozhevnikov, A.A. Sokolov, A.S. Konashuk, F. Schaefers, M. Popovici, V.V. Afanas'Ev

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья

4 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)110-116
ЖурналJournal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
Том196
DOI
СостояниеОпубликовано - 2014

Цитировать