ЦИФРОВОЕ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЕ УВЕЛИЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИНТЕРФЕРОГРАММ

Николай Сергеевич Балбекин, Владимир Юрьевич Венедиктов, Роман Сергеевич Коновалов

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований и схемы записи голограмм цифровым способом с использованием пространственных модуляторов света. Описано применение голографических интерференционных методов для измерения неровностей наномасштаба на примере наноступеньки (высотой 70 нм и шириной 30 мкм). Приведены примеры реализации метода увеличения чувствительности для измерений наноступеньки и метода крюков цифровым способом. Доказана вероятность реализации метода коррекции внутренних искажений системы в интерферометре. Показано, что применение голографических интерференционных методов с использованием цифровой обработки голограмм позволяет повысить чувствительность интерферограмм без потери основной информации об объекте и без увеличения точности измерений.
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)100-108
ЖурналАВТОМЕТРИЯ
Том56
Номер выпуска2
СостояниеОпубликовано - 2020

Ключевые слова

  • amplification of interferograms
  • correction distortions
  • hologram
  • holographic interferometry
  • nanometrology
  • Rozhdestvenskii hooks
  • spatial light modulator
  • голограмма
  • голографическая интерферометрия
  • коррекция искажений
  • крюки Рождественского
  • нанометрология
  • пространственный модулятор света
  • усиление интерферограмм

Цитировать