Фоточувствительное устройство и способ его изготовления.

Константин Павлович Котляр (изобретатель), Сергей Арсеньевич Кукушкин (изобретатель), Андрей Викторович Осипов (изобретатель), Родион Романович Резник (изобретатель), Илья Петрович Сошников (изобретатель), Георгий Эрнстович Цырлин (изобретатель)

    Результат исследований: Патентование и регистрация прав на ИСпатент

    Аннотация

    <p num="43">Группа изобретений относится к технологии устройств твердотельной электроники и может быть использована при разработке фотоприемников видимого и ближнего ИК-диапазона. Фоточувствительное устройство имеет электрод и сформированную на нем фоточувствительную слоистую структуру, содержащую подложку кремния с проводимостью р-типа, имеющую поверхность с кристаллографической ориентацией (111), со сформированным на ней слоем карбида кремния. На слое SiC имеется планаризующий слой диэлектрика из светопропускающего полимера. Планаризующий слой вмещает в себя предварительно синтезированный на слое SiC массив наностержней GaN, ориентированных перпендикулярно подложке, на планаризирующем слое сформирован светопропускающий электрод, который обеспечивает электрический контакт с наностержнями. Слои устройства формируют поэтапно. Вначале на подложке кремния, имеющей поверхность с кристаллографической ориентацией (111), формируют SiC методом замещения атомов с образованием углерод-вакансионных структур, затем на сл
    Язык оригиналарусский
    Номер патентаRU 2685032
    СостояниеОпубликовано - 26 июл 2018

    Цитировать