Физико-химические основы микроэлектроники конструирования и технологии РЭА и ЭВА.

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийглава/разделучебнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииФизико-химические основы микроэлектроники конструирования и технологии РЭА и ЭВА.
СостояниеОпубликовано - 1987

Цитировать