Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме

Евгений Владимирович Жижин (изобретатель), Дмитрий Александрович Пудиков (изобретатель), Алексей Сергеевич Комолов (изобретатель)

Результат исследований: Патентование и регистрация прав на ИСпатент

Язык оригиналарусский
Номер патента202920
IPCC23C 14/22 (2006.01),C23C 14/12 (2006.01)
Дата приоритета16/11/20
Дата подачи заявки16/11/20
СостояниеОпубликовано - 15 мар 2021

Цитировать