Структура интерфейсов многослойных систем в спектрах зеркального рассеяния рентгеновского излучения

В.П. Романов, С.В. Уздин, В.М. Уздин, С.В. Ульянов

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья

Аннотация

Исследовано влияние пространственной структуры интерфейса в многослойных металлических пленках на форму спектра зеркального рассеяния рентгеновского излучения. Рассмотрено два типа структурных дефектов на интерфейсе - ступеньки, приводящие к переменной толщине слоев, и перемешивание атомов разных металлов в процессе эпитаксиального роста. Показано, что эти механизмы по-разному проявляются в спектрах зеркального рассеяния. Вследствие перемешивания заметно снижаются высоты брэгговских пиков, особенно высоких порядков. Шероховатости интерфейса приводят к уширению брэгговских пиков и исчезновению промежуточных пиков между ними.
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)144-151
ЖурналФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
Номер выпуска1
СостояниеОпубликовано - 2006
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать