Механизм формирования межслоевой области в многослойной структуре Mo/(B4C)/Be

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференции

Аннотация

Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.
Язык оригиналарусский
Название основной публикацииНанофизика и наноэлектроника
Подзаголовок основной публикацииТруды XXIV Международного симпозиума. В 2 т.
Место публикацииНижний Новгород
ИздательИздательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
Страницы907-908
Число страниц2
Том2
ISBN (печатное издание)978-5-91326-587-6
СостояниеОпубликовано - 2020
СобытиеXXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» - Нижний Новгород, Российская Федерация
Продолжительность: 10 мар 202013 мар 2020

конференция

конференцияXXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
СтранаРоссийская Федерация
ГородНижний Новгород
Период10/03/2013/03/20

Цитировать