Методика неразрушающего контроля и исследования пространственной структуры тонких пленок металлов в голографическом микроскопе

Н.В. Егоров, А.Г. Карпов, Л.И. Антонова, А.Г. Федоров, В.В. Трофимов

Результат исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучная

Язык оригиналане определен
Название основной публикацииВысокие технологии, обра-зование, промышленность. Т.3: Сборник статей Одиннадцатой международной научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные исследования, разработка и применение высоких технологий в промышленности», 27-29 апреля 2011, Санкт-Петербург, Россия
ИздательИздательство Санкт-Петербургского Государственного Политехнического Университета
Страницы212-214
СостояниеОпубликовано - 2011
Опубликовано для внешнего пользованияДа

Цитировать