Математические основы методов обработки информации диэлектрической спектроскопии тонких пленок

Результат исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Комплексная диэлектрическая проницаемость содержит информацию о структуре материала, в том числе о качестве его изготовления. Измерение и анализ диэлектрической проницаемости могут служить методом как научного исследования, так и диагностики материалов. С целью обработки диэлектрометрических измерений в реальном масштабе времени предложен оригинальный метод для вычисления действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости, который может быть реализован в компактном вы- числительном устройстве, например, включенном в систему управления технологическим процессом. Указанный метод основан на применении квадратурных формул для расчета интеграла. Действительная и мнимая части диэлектрической проницаемости вычисляются для значений частоты, расположенных в геометрической прогрессии. Оптические свойства материала непосредственно связаны с диэлектрической проницаемостью. На основании этой связи создана математическая модель для получения показателей поглощения и преломления тонких пленок на прозрачной подложк
Переведенное названиеMATHEMATICAL FOUNDATIONS OF INFORMATION PROCESSING METHODS FOR DIELECTRIC SPECTROSCOPY OF THIN FILMS
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)13-26
ЖурналВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 10: ПРИКЛАДНАЯ МАТЕМАТИКА, ИНФОРМАТИКА, ПРОЦЕССЫ УПРАВЛЕНИЯ
Том11
Номер выпуска4
СостояниеОпубликовано - 2015

Ключевые слова

  • математическая модель
  • диэлектрическая проницаемость
  • тонкие пленки
  • оптические свойства

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Математические основы методов обработки информации диэлектрической спектроскопии тонких пленок». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать