В докладе делается краткий исторический обзор развития методологии ПХС, и отмечаются приоритетные российские работы, в которых были предложены и обоснованы условия ПХС широкого круга неорганических соединений. На примере синтеза мультислоев Mn(III,IV)- и Ce(III,IV)-содержащих оксигидроксидов показано, что покрытия с контролируемой толщиной из таких соединений могут быть нанесены на поверхность подложек со сколь угодно сложной формой и практически при комнатной температуре. Дается также обзор особенностей конструкций автоматизированных лабораторных и полупромышленных установок для ПХС, и рассматриваются основные проблемы такого синтеза, связанные с относительно невысокой “скоростью роста” тонкослойных структур, необходимостью выбора условий необратимости процессов на поверхности и т.д. Анализируются перспективы развития ПХС, связанные с совершенствованием экспериментальных установок для синтеза и созданием новых маршрутов синтеза мультинанослоёв гибридных соединений, в том числе и с иерархически построенной морфологией. Приведенный в докладе материал позволяет отнести изложенные подходы к синтезу к числу “ключевых” в нанотехнологии.