Автоматизированное устройство для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом послойной сборки › SPbU Researchers Portal

Автоматизированное устройство для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом послойной сборки

Research output: Patenting and IP registration › Patent application

Тимофей Кириллович Раскин (Inventor)
Артем Александрович Селютин (Inventor)
Аида Витальевна Рудакова (Inventor)
Александра Валерьевна Бардакова (Inventor)
Кирилл Михайлович Буланин (Inventor)

Original language	Russian
State	Submitted - 1 Dec 2024

ID: 128406394