Электрически активные центры, образующиеся в кремнии в процессе высокотемпературной диффузии бора и алюминия.

Н.А Соболев, А.С. Лошаченко, Е.И. Шек, Д.С Полоскин

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

    Original languageUndefined
    Pages (from-to)255-257
    JournalФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
    Volume47
    Issue number2
    StatePublished - 2013

    Cite this