Структура интерфейсов многослойных систем в спектрах зеркального рассеяния рентгеновского излучения

В.П. Романов, С.В. Уздин, В.М. Уздин, С.В. Ульянов

Research output

Abstract

Исследовано влияние пространственной структуры интерфейса в многослойных металлических пленках на форму спектра зеркального рассеяния рентгеновского излучения. Рассмотрено два типа структурных дефектов на интерфейсе - ступеньки, приводящие к переменной толщине слоев, и перемешивание атомов разных металлов в процессе эпитаксиального роста. Показано, что эти механизмы по-разному проявляются в спектрах зеркального рассеяния. Вследствие перемешивания заметно снижаются высоты брэгговских пиков, особенно высоких порядков. Шероховатости интерфейса приводят к уширению брэгговских пиков и исчезновению промежуточных пиков между ними.
Original languageRussian
Pages (from-to)144-151
JournalФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
Issue number1
Publication statusPublished - 2006
Externally publishedYes

Cite this