Программа для управления режимом работы источника вакуумного ультрафиолетового излучения (VUV-Valve)

Олег Юрьевич Вилков, Дмитрий Юрьевич Усачев, Евгений Владимирович Жижин, Дмитрий Александрович Пудиков

Research output

Abstract

Программа предназначена для реализации способа дистанционного управления источником
вакуумного ультрафиолетового излучения для удобного и надежного контроля потока рабочего
газа при круглосуточных измерениях. Программа может быть интегрирована в коммерческие
программные продукты по управлению оборудованием на базе фотоэлектронных спектрометров
с применением методики фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением. Кроме того,
на основе программы можно реализовать технологию дистанционного контролируемого напуска
рабочего газа для иного вакуумного оборудования. К преимуществам программы (по отношению
к известным) относятся: возможность задавать оптимальный шаг для изменения потока рабочего
газа в широком диапазоне изменения рабочего давления газа для работы источника вакуумного
ультрафиолетового излучения; реализация автоматического режима аварийной остановки
системы напуска газа при нештатной работе источника вакуумного ультрафиолетового излучения:
при отключении внешнего источника питания; при критичном изменении диапазона рабочего
давления газа; при отключении насосной группы, обеспечивающую работу источника вакуумного
ультрафиолетового излучения; предусмотрены две дополнительные возможности по расширению
автоматического режима аварийной остановки системы напуска газа при нештатной работе
источника вакуумного ультрафиолетового излучения; возможность интеграции в коммерческие
программные продукты.
Original languageRussian
Patent number2019665984
Priority date19/11/19
Filing date19/11/19
Publication statusPublished - 3 Dec 2019

Cite this