Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах

С.С. Сахоненков; А.С. Конашук; А.У. Гайсин; Е.О. Филатова

Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах

С.С. Сахоненков, А.С. Конашук, А.У. Гайсин, Е.О. Филатова

Research output › › peer-review

Abstract

Методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий проведено исследование многослойной структуры Mo/Be и пленки Be на подложке. Обнаружено формирование окисла на поверхности как пленки, так и многослойной структуры. Анализ фотоэлектронных спектров структуры Mo/Be указывает на формирование переходных слоев на межфазовых границах, обусловленных вероятнее всего процессом интердиффузии материалов соседних слоев в исследуемой структуре.

Original language	Russian
Title of host publication	Нанофизика и наноэлектроника
Subtitle of host publication	Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.
Place of Publication	Нижний Новгород
Publisher	Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
Pages	517-518
Volume	1
ISBN (Print)	9785913264992
Publication status	Published - Mar 2019
Event	XXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" - Нижний Новгород Duration: 11 Mar 2019 → 14 Mar 2019 http://nanosymp.ru/ru/archive

Conference

Conference	XXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"
Country	Russian Federation
City	Нижний Новгород
Period	11/03/19 → 14/03/19
Internet address	http://nanosymp.ru/ru/archive

Access to Document

Тезисы, Том 1Final published version, 45.8 MB

Cite this

Сахоненков, С. С., Конашук, А. С., Гайсин, А. У., & Филатова, Е. О. (2019). Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах. In Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т. (Vol. 1, pp. 517-518). Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского.

Сахоненков, С.С. ; Конашук, А.С. ; Гайсин, А.У. ; Филатова, Е.О. / Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах. Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.. Vol. 1 Нижний Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2019. pp. 517-518

@inproceedings{0109bb75a6814bc5a2cb3576ed4f7ca4,

title = "Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах",

abstract = "Методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий проведено исследование многослойной структуры Mo/Be и пленки Be на подложке. Обнаружено формирование окисла на поверхности как пленки, так и многослойной структуры. Анализ фотоэлектронных спектров структуры Mo/Be указывает на формирование переходных слоев на межфазовых границах, обусловленных вероятнее всего процессом интердиффузии материалов соседних слоев в исследуемой структуре. ",

author = "С.С. Сахоненков and А.С. Конашук and А.У. Гайсин and Е.О. Филатова",

year = "2019",

month = mar,

language = "русский",

isbn = "9785913264992",

volume = "1",

pages = "517--518",

booktitle = "Нанофизика и наноэлектроника",

publisher = "Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского",

address = "Российская Федерация",

note = "XXIII Международный симпозиум {"}Нанофизика и наноэлектроника{"} ; Conference date: 11-03-2019 Through 14-03-2019",

url = "http://nanosymp.ru/ru/archive",

}

Сахоненков, СС , Конашук, АС , Гайсин, АУ & Филатова, ЕО 2019, Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах. in Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.. vol. 1, Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, pp. 517-518, XXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 11/03/19.

Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах. / Сахоненков, С.С.; Конашук, А.С.; Гайсин, А.У.; Филатова, Е.О.

Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.. Vol. 1 Нижний Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2019. p. 517-518.

Research output › › peer-review

TY - GEN

T1 - Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах

AU - Сахоненков, С.С.

AU - Конашук, А.С.

AU - Гайсин, А.У.

AU - Филатова, Е.О.

PY - 2019/3

Y1 - 2019/3

N2 - Методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий проведено исследование многослойной структуры Mo/Be и пленки Be на подложке. Обнаружено формирование окисла на поверхности как пленки, так и многослойной структуры. Анализ фотоэлектронных спектров структуры Mo/Be указывает на формирование переходных слоев на межфазовых границах, обусловленных вероятнее всего процессом интердиффузии материалов соседних слоев в исследуемой структуре.

AB - Методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий проведено исследование многослойной структуры Mo/Be и пленки Be на подложке. Обнаружено формирование окисла на поверхности как пленки, так и многослойной структуры. Анализ фотоэлектронных спектров структуры Mo/Be указывает на формирование переходных слоев на межфазовых границах, обусловленных вероятнее всего процессом интердиффузии материалов соседних слоев в исследуемой структуре.

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 9785913264992

VL - 1

SP - 517

EP - 518

BT - Нанофизика и наноэлектроника

PB - Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского

CY - Нижний Новгород

T2 - XXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"

Y2 - 11 March 2019 through 14 March 2019

ER -

Сахоненков СС , Конашук АС , Гайсин АУ , Филатова ЕО. Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах. In Нанофизика и наноэлектроника : Труды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.. Vol. 1. Нижний Новгород: Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского. 2019. p. 517-518