Применение ФЭС высоких энергий к изучению состава межслоевой области в многослойных рентгеновских зеркалах

Research outputpeer-review

Abstract

Методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий проведено исследование многослойной структуры Mo/Be и пленки Be на подложке. Обнаружено формирование окисла на поверхности как пленки, так и многослойной структуры. Анализ фотоэлектронных спектров структуры Mo/Be указывает на формирование переходных слоев на межфазовых границах, обусловленных вероятнее всего процессом интердиффузии материалов соседних слоев в исследуемой структуре.
Original languageRussian
Title of host publicationНанофизика и наноэлектроника
Subtitle of host publicationТруды XXIII Международного симпозиума. В 2 т.
Place of PublicationНижний Новгород
PublisherИздательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
Pages517-518
Volume1
ISBN (Print)9785913264992
Publication statusPublished - Mar 2019
EventXXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" - Нижний Новгород
Duration: 11 Mar 201914 Mar 2019
http://nanosymp.ru/ru/archive

Conference

ConferenceXXIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"
CountryRussian Federation
CityНижний Новгород
Period11/03/1914/03/19
Internet address

Cite this