Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения

Г.М. Григорьян, И.В. Кочетов

Research output

Original languageUndefined
Pages (from-to)475-482
JournalФИЗИКА ПЛАЗМЫ
Volume39
Issue number5
Publication statusPublished - 2013

Cite this

@article{536d71053087426895a9d687764e030c,
title = "Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения",
author = "Г.М. Григорьян and И.В. Кочетов",
year = "2013",
language = "не определен",
volume = "39",
pages = "475--482",
journal = "ФИЗИКА ПЛАЗМЫ",
issn = "0367-2921",
publisher = "Издательство {"}Наука{"}",
number = "5",

}

TY - JOUR

T1 - Получение карбонитридных пленок на стадиях тлеющего разряда и его послесвечения

AU - Григорьян, Г.М.

AU - Кочетов, И.В.

PY - 2013

Y1 - 2013

M3 - статья

VL - 39

SP - 475

EP - 482

JO - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

JF - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

SN - 0367-2921

IS - 5

ER -